右側部分為氣路原理
用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過(guò)手動(dòng)方式,控制內部截止閥(V1-V6的開(kāi)關(guān))
INLET1 - 設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
INLET2 – 原料氣,用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。
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動(dòng)態(tài)氣體配氣儀
動(dòng)態(tài)氣體配氣儀可以將高濃度標氣按照設定的稀釋比例,稀釋成各種低濃度標氣,可校準各種氣體分析儀及其氣體傳感器。廣泛適用于計量檢測,環(huán)境監測,分析儀器生產(chǎn)等單位。
儀器簡(jiǎn)介
* 質(zhì)量流量控制器,可選配3路配氣通道;
* 配氣流路采用防腐蝕,防吸附設計;
* 交直流兩用供電,可室外現場(chǎng)使用;
* 彩色觸摸屏,中文菜單化操作;
* 可配置加濕功能,配制特定含濕量的氣體
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動(dòng)態(tài)氣體稀釋儀
氣體濃度是對大氣中的污染物,常見(jiàn)體積濃度和質(zhì)量-體積濃度來(lái)表示其在大氣中的含量。常見(jiàn)的濃度表示單位有:%,ppm,ppb等級別。動(dòng)態(tài)配氣儀,氣體濃度稀釋氣體是配置含特定濃度的某種物質(zhì)的氣體時(shí),用作充稀作用的一種高純度氣體。它不能含有使待測氣體隨時(shí)間發(fā)生變化的成分,也不能含有影響儀器測定的成分。人機交互界面:采用觸摸屏控制氣路系統內部所有單元,包括MFC,電磁截止閥,壓力傳感器等。稀釋氣體載氣一般多使用高純氮氣或清潔空氣的不活潑氣體。
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